
在半导体产业的核心制造环节中,硅片作为基础的衬底材料,承载着芯片功能实现的关键使命。而在硅片表面生长外延层,是提升半导体器件性能、拓展应用场景的核心工艺之一。这一工艺的普及,与半导体材料的特性紧密相关,更是解决衬底材料固有缺陷、适配高端器件需求的必然选择。
半导体材料的核心价值在于其可调控的导电性,而硅作为目前应用广泛的半导体材料,虽具备储量丰富、制备成本较低等优势,但原生硅片往往存在杂质含量不均、晶格缺陷等问题。这些缺陷会严重影响载流子的迁移效率,导致器件的开关速度变慢、功耗升高,无法满足高端芯片对性能的严苛要求。外延层则能精准规避这一短板——通过气相外延、分子束外延等精密工艺,可在原生硅片表面生长出一层晶格结构完整、杂质浓度可控的半导体材料薄膜,这层薄膜与衬底硅形成良好的晶格匹配,既能继承硅材料的基础特性,又能通过工艺调控优化电学参数。
精准调控半导体材料的掺杂类型与浓度,是外延层生长的核心价值之一。在芯片制造中,不同区域需要实现N型导电或P型导电的功能区分,原生硅片难以在同一衬底上实现精准的局部掺杂调控。而通过外延工艺,可在生长过程中精准引入硼、磷等掺杂原子,根据器件设计需求,制备出不同掺杂浓度、不同导电类型的外延层。例如,在功率器件中,通过生长高阻外延层与低阻衬底的组合结构,可有效提升器件的耐压性能与开关特性,这一设计正是依托外延层对半导体材料电学特性的精准调控能力实现的。
外延层还能实现半导体材料的异质集成,拓展芯片的功能边界。随着芯片集成度的不断提升,单一硅材料已无法满足光电集成、高频通信等高端应用需求。通过外延工艺,可在硅衬底上生长锗、碳化硅、氮化镓等其他半导体材料的外延层,实现不同材料特性的优势互补。例如,在光电探测器中,通过在硅片上生长锗外延层,可利用锗材料优异的光吸收特性,结合硅材料成熟的集成工艺,制备出高性能的光电集成器件;在高频通信器件中,碳化硅外延层的应用则能大幅提升器件的耐高温、耐高压性能,适配5G、新能源等领域的高频、高功率需求。这种异质外延技术,打破了单一半导体材料的应用局限,为高端芯片的创新发展提供了可能。
此外,外延层还能修复硅片表面的缺陷,提升器件的可靠性。原生硅片在制备过程中,表面易产生划痕、氧化层等缺陷,这些缺陷会导致器件制备过程中出现漏电、击穿等问题。通过外延生长,新生成的外延层可覆盖衬底表面的缺陷,形成平整、洁净的半导体材料表面,为后续的光刻、刻蚀等工艺提供优质的基础条件,从而提升器件的成品率与长期工作可靠性。