Lift Off光刻胶
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Lift Off光刻胶
提供多种规格型号的lift-off光刻胶,具体型号请咨询客服。
类型 型号 厚度/um 分辨率 /um 作用光谱 工艺应用
Lift-Off光刻胶 LN 218系列 4-12 2 i-line lift off负性光刻胶,倒角66-80°
LN 246系列 2-7 2 i-line
nLOF系列 2-11 0.5 i-line lift off负性光刻胶,耐高温;可用于RIE工艺
5214 1-2 0.5 broad band 反转胶;可用于lift off工艺、常规正胶工艺
LOL2000 0.13-0.3 0.5 broad band 双层胶工艺
LOR/PMGI-SF 0.1-7 0.5 broad band 双层胶工艺
以上厚度均为单次涂覆厚度;分辨率一般为极限分辨率。
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