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微流控
江苏新越专业研发生产 MEMS 工艺微流控器件,依托微电子光刻与软光刻核心加工技术,搭配高温高压键合、氧等离子键合等工艺打造完整微流控微通道,可定制 PDMS、硅流道、玻璃流道三类核心器件,不同器件分别实现微米 / 纳米级线宽精度,流道深宽比与可控精度均达行业优质标准,适配各类微流控应用场景的定制化需求。
氮化硅薄膜窗格
江苏新越专业定制氮化硅薄膜窗格,是同步辐射 X 射线、软 X 射线、紫外 / 极紫外样品结构分析与透射成像实验的理想承载体,可按需提供大窗口 / 多窗口氮化硅膜、悬臂梁加热器件、开放式电化学芯片、加热芯片等定制化解决方案。产品热稳定性高、无毒性,加热芯片可耐受 1200℃高温,适用于 TEM 观测、生物样品培养观测、EDX/EELS 含碳样品观测,还能实现样品退火前后形貌的准原位研究,适配同步辐射实验、透射电镜观测等多类科研场景。
MEMS开关
江苏新越专业研发生产 MEMS 开关,含射频 MEMS 开关、MEMS 微机电继电器两大品类,采用微纳加工技术打造可动悬臂梁核心结构,支持 TSV/TGV 晶圆级封装与片上集成,可基于玻璃、石英、高阻硅等衬底流片且性能优越,广泛适配射频前端、无线通信、自动测试、智能电网等领域的应用需求。
PMUT
江苏新越专业供应 MEMS 工艺打造的 PMUT 压电式微机电超声波换能器,基于压电效应实现电能与声能的高效相互转换,产品具备体积小、功耗低、集成度高、环境适应性强、性能优越的核心特点,广泛应用于飞行时间(ToF)测距与感应、超声波指纹识别、人机交互等领域,适配各类微机电系统应用需求。
二维材料
江苏新越专业提供 MEMS 器件用二维材料及相关器件制作服务,这类材料电子仅能在 1-100nm 非纳米尺度的二维平面自由运动,涵盖拓扑绝缘体、金属等多种类型,包含 Sb2Te3、Bi2Se3、FeSi、CoSi 等多款材料,适配 MEMS 器件研发与生产的材料应用需求,助力二维材料在微机电系统领域的科研与落地。
探针
江苏新越专业研发 AFM 原子力显微镜高性能探针,作为 AFM 核心耗材专为高精度科研需求打造,突破行业技术瓶颈。产品针尖半径达 10 纳米级别,微悬臂参数经严格校准保障高灵敏度扫描,采用先进干法刻蚀工艺精准控制针尖形态,大幅提升探针分辨率与一致性,带来更可靠清晰的成像效果,满足顶尖实验室微观探索的严苛要求。
柔性电极
专业研发生产 MEMS 微机电系统工艺柔性电极,融合传统半导体与柔性材料精密加工技术,产品兼具可弯曲、拉伸、扭曲的优异柔韧性,同时具备轻量化、高导电性优势,导电材料选择多样且拥有良好生物相容性,应用安全高效,广泛适配可穿戴设备、脑机接口、各类传感器及柔性电子等领域,支持定制化需求。
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