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MEMS开关
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MEMS开关
MEMS（微机电系统）开关是采用微纳加工技术制造的微型机械式开关。其核心是一个微小的可动悬臂梁结构，通过静电等驱动力控制悬臂梁的机械运动，实现信号端子的导通与断开。根据应用领域，主要分为射频MEMS开关（RF MEMS Switch）和微机电继电器（MEMS Relay）两大类。
产品特点：
  • 支持TSV/TGV晶圆级封装
  • 具备片上集成能力
  • 可基于玻璃、石英、高阻硅等衬底进行流片。
  • 性能优越
典型应用：
  • 射频前端
  • 无线通信
  • 自动测试
  • 智能电网
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