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从平面到三维:浅谈微纳加工中的键合与掺杂技术前沿
从平面到三维:浅谈微纳加工中的键合与掺杂技术前沿
2026 / 01 / 14
微纳加工技术的发展始终朝着更高集成度、更优性能的方向迈进,传统平面加工模式已逐渐逼近物理极限与性能瓶颈。从平面到三维的维度突破,成为提升微纳器件功能密度与运行效率的核心路径,而键合与掺杂技术作为三维微纳加工的关键支撑,其前沿进展深刻重塑着微纳制造的技术格局。
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