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衬底材料选型:MEMS器件性能的核心基石
衬底材料选型:MEMS器件性能的核心基石
2025 / 12 / 11
MEMS器件的微型化、集成化与高性能化,离不开衬底材料的支撑与调控。作为器件结构的承载基础和性能调控的关键载体,半导体衬底材料的物理、化学及机械特性,直接决定了MEMS器件的灵敏度、稳定性、兼容性及应用场景。目前主流的半导体衬底材料包括硅、碳化硅、氮化镓及蓝宝石等,不同材料的特性差异赋予MEMS器件截然不同的性能表现。
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