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氧化硅与石英刻蚀侧壁倾角成型机理探析
氧化硅与石英刻蚀侧壁倾角成型机理探析
2026 / 06 / 17
在微纳加工与精密光学制造领域,氧化硅及石英材料的刻蚀工艺应用广泛,是构建微流控结构、光学微腔、半导体介质层的核心工序。实际工艺生产中,理想垂直平直的刻蚀侧壁难以实现,多数结构侧壁均存在不同程度的倾斜、弧度与粗糙偏差。这种非垂直形貌并非工艺失误导致,而是材料特性、刻蚀机理、粒子运动规律及工艺边界效应共同作用的必然结果。深入剖析其成型机理,是优化刻蚀精度、提升器件性能的关键前提。
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