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微纳加工中的原子层沉积(ALD)技术
微纳加工中的原子层沉积(ALD)技术
2026 / 09 / 23
随着半导体器件、微机电系统、纳米光学器件不断向微型化、高密度、高精密方向迭代,传统薄膜沉积技术已难以满足埃米级精度、复杂结构全覆盖的制备需求。原子层沉积(ALD)作为一种基于表面自限制反应的气相薄膜沉积技术,凭借厚度可控性、结构贴合性与薄膜均匀性,成为当代微纳加工领域的核心精密制程之一,支撑着先进微纳器件的研发与量产落地。
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