微流控器件_MEMS 工艺微流控芯片定制_江苏新越微流控加工

微流控

江苏新越专业研发生产 MEMS 工艺微流控器件，依托微电子光刻与软光刻核心加工技术，搭配高温高压键合、氧等离子键合等工艺打造完整微流控微通道，可定制 PDMS、硅流道、玻璃流道三类核心器件，不同器件分别实现微米 / 纳米级线宽精度，流道深宽比与可控精度均达行业优质标准，适配各类微流控应用场景的定制化需求。

PDMS器件：微米级别线宽，采用高精度模具
硅流道器件：纳米级别线宽，可控精度±5%以内，流道最大深宽比可达20:1
玻璃流道器件：微米级别深度，可控精度±10%，深宽比可达1：2