在半导体产业的精密链条中,硅片与石英片如同支撑技术大厦的两根核心支柱。尽管二者常被同时提及,却拥有截然不同的物理特性与应用场景,共同推动着芯片制造从微米级向纳米级的突破。厘清二者的差异与协同关系,是理解半导体材料体系的关键所在。
从材料本质来看,硅片与石英片的核心成分存在根本区别。硅片以高纯度单晶硅为原料,通过直拉法或区熔法制备,其晶体结构呈现完整的金刚石型晶格,原子排列高度有序。这种单晶结构赋予硅片优异的半导体特性 —— 在常温下电阻率适中,且可通过掺杂硼、磷等元素精准调控导电性能,这也是它成为芯片衬底核心材料的核心原因。目前半导体级硅片的纯度已达到 99.999999999%(11 个 9),任何微小杂质都可能导致芯片功能失效。
石英片则以二氧化硅为主要成分,分为天然石英与合成石英两大类。与硅片的单晶结构不同,半导体制造中常用的石英片多为熔融石英,属于非晶态固体,原子排列无固定规律。这种结构使其具备很低的热膨胀系数,在 1100℃高温环境下仍能保持尺寸稳定,同时拥有优异的透光性,可透过从紫外到红外的广谱光线。此外,石英片还具有很高的化学稳定性,除氢氟酸外几乎不与其他酸碱物质反应,这一特性使其在苛刻的芯片制造环境中脱颖而出。
在半导体制造流程中,二者的应用场景形成鲜明分工。硅片是芯片的 “载体与基底”,承担着电路构建的核心功能。在晶圆制造环节,光刻、蚀刻、沉积等关键工艺均以硅片为基础 —— 通过光刻胶涂层、紫外线曝光、离子注入等步骤,将复杂的电路图案逐层转移到硅片表面,最终形成数以亿计的晶体管。目前主流的硅片尺寸已发展至 12 英寸(300mm),更大的面积可同时制造更多芯片,显著降低单位成本。
石英片则扮演着 “辅助与保障” 的角色,其应用贯穿芯片制造全流程。在光刻环节,石英玻璃被制成光刻掩膜基板 —— 需具备很高的平面度与透光均匀性,确保光刻图案精准转移;在薄膜沉积环节,石英舟作为晶圆承载工具,需耐受 800-1200℃的高温与腐蚀性气体;此外,石英窗口、石英导管等部件也广泛应用于半导体设备中,为制造过程提供稳定的环境保障。值得注意的是,高端半导体制造中多采用合成石英,其杂质含量远低于天然石英,可有效减少对芯片的污染。
尽管功能不同,硅片与石英片却在技术迭代中形成协同发展。随着芯片制程向 3nm 及以下推进,对硅片的平整度、表面粗糙度要求愈发严苛 —— 目前 12 英寸硅片的局部平整度误差需控制在 1nm 以内,这就要求石英掩膜基板具备更高的精度匹配;同时,先进封装技术的发展推动硅片向薄型化方向发展,而石英载具的稳定性直接影响薄型硅片的加工良率。
从产业价值来看,硅片与石英片均属于半导体材料中的 “关键耗材”,其质量直接决定芯片性能与制造成本。据 SEMI 数据显示,2024 年全球半导体硅片市场规模超过 140 亿美元,占半导体材料总市场的 30% 以上;而石英材料虽市场规模较小(约 30 亿美元),但其在高端制程中的不可替代性日益凸显。随着人工智能、新能源汽车等领域对高端芯片需求的激增,二者的技术竞争与产业布局将成为全球半导体产业竞争的重要焦点。